Seramik Silikon Karbida: Komponen Ketepatan Penting untuk Proses Semikonduktor (Bahagian 1)
Silikon karbida (SiC), sebagai bahan seramik berstruktur berprestasi tinggi, mempunyai ciri-ciri seperti ketumpatan tinggi, kekonduksian terma yang tinggi, kekuatan lentur yang tinggi, modulus anjal yang besar, rintangan kakisan yang kuat, dan rintangan suhu tinggi. Ia kurang terdedah kepada ubah bentuk akibat tegasan lentur atau terikan terma, menjadikannya sesuai untuk persekitaran yang menghakis dan suhu ultra tinggi yang dihadapi dalam proses semikonduktor seperti epitaksi wafer, etsa dan seterusnya. Akibatnya, ia telah menemui aplikasi yang meluas dalam proses seperti pengisaran dan penggilap, rawatan terma seperti epitaksi/pengoksidaan/penyebaran, litografi, pemendapan, etsa dan implantasi ion dalam pembuatan semikonduktor.
Proses Pengisaran
• Butiran Roda Pengisar Silikon Karbida
Roda Pengisar SiC untuk Pengisaran Wafer Selepas memotong jongkong menjadi wafer, tepi tajam, burr, retak atau kecacatan lain sering berlaku. Untuk mengelakkan kesan buruk pada kekuatan wafer, kemasan permukaan, dan pencemaran daripada zarah dalam proses seterusnya, wafer perlu dikisar untuk mengurangkan ketebalan, meningkatkan kerataan permukaan wafer, dan menghapuskan kerosakan permukaan yang disebabkan oleh pemotongan wayar. Pada masa ini, kaedah yang paling biasa ialah pengisaran dua muka menggunakan roda pengisar, dengan usaha untuk meningkatkan kualiti pengisaran dengan mengoptimumkan parameter pengisaran seperti bahan roda, tekanan pengisaran, dan kelajuan putaran.
Prinsip Pengisaran Dua Sebelah
Secara tradisinya, roda pengisar kebanyakannya diperbuat daripada besi tuang atau keluli karbon, dicirikan oleh jangka hayat yang pendek dan pekali pengembangan haba yang ketara. Walau bagaimanapun, dengan pembangunan bahan seramik SiC yang tahan haus dan proses pensinteran, roda pengisar SiC telah secara beransur-ansur menggantikan besi tuang dan keluli karbon kerana kekerasannya yang tinggi, haus rendah, dan pekali pengembangan haba yang serupa kepada wafer silikon, menawarkan kelebihan yang ketara, terutamanya dalam proses pengisaran dan penggilapan berkelajuan tinggi.
Roda Pengisar Silicon Carbide
Rawatan Terma dan Proses Lain
• Lekapan dan Komponen Silikon Karbida Di Dalam Kebuk Tindak Balas
Lekapan dan Komponen SiC dalam Ruang Tindak Balas Pembuatan wafer melibatkan pelbagai proses terma seperti pengoksidaan, resapan, penyepuhlindapan dan pengaloian, yang memerlukan produk seramik SiC untuk pengangkutan wafer antara proses dan komponen dalam peralatan pemprosesan haba.
Lengan Seramik
Dalam pengeluaran wafer semikonduktor, rawatan haba suhu tinggi diperlukan, selalunya menggunakan lengan mekanikal untuk mengangkut, mengendalikan dan meletakkan wafer semikonduktor. Lengan ini perlu mempunyai kekuatan mekanikal yang tinggi, rintangan kakisan, rintangan suhu tinggi, rintangan haus, kekerasan tinggi, dan penebat, kerana ia beroperasi dalam persekitaran yang bersih, berkelajuan tinggi, dan selalunya menghakis seperti vakum, suhu tinggi dan gas reaktif . Berbanding dengan alumina, lengan seramik SiC lebih baik memenuhi keperluan ini, tetapi masalah kos dan pemprosesan yang tinggi telah mengehadkan penggunaannya.
Komponen dalam Kebuk Reaksi
Peralatan semikonduktor untuk pemprosesan haba termasuk relau pengoksidaan (mendatar dan menegak) dan peralatan Pemprosesan Terma Pantas (RTP). Disebabkan oleh suhu operasi yang tinggi, komponen di dalam ruang tindak balas memerlukan prestasi tinggi. Komponen SiC tersinter ketulenan tinggi, termasuk bot menegak, alas, tiub pelapik, tiub dalam dan plat penyekat, amat diperlukan untuk peralatan pemprosesan haba litar bersepadu.
Komponen Di Dalam Kebuk Reaksi
Akan bersambung....
XIAMEN MASCERA TECHNOLOGY CO., LTD. ialah pembekal terkemuka dan boleh dipercayai yang mengkhusus dalam pembuatan dan penjualan alat ganti seramik teknikal. Kami menyediakan pengeluaran tersuai dan pemesinan berketepatan tinggi untuk pelbagai siri bahan seramik berprestasi tinggi termasuk seramik alumina, seramik zirkonia, silikon nitrida, silikon karbida, boron nitrida, aluminium nitrida dan seramik kaca boleh dimesin. Pada masa ini, alat ganti seramik kami boleh didapati dalam banyak industri seperti mekanikal, kimia, perubatan, semikonduktor, kenderaan, elektronik, metalurgi dan lain-lain. Misi kami adalah untuk menyediakan bahagian seramik berkualiti terbaik untuk pengguna global dan kami amat berbesar hati untuk melihat seramik kami. bahagian berfungsi dengan cekap dalam aplikasi khusus pelanggan. Kami boleh bekerjasama dalam kedua-dua prototaip dan pengeluaran besar-besaran, dialu-alukan untuk menghubungi kami jika anda mempunyai permintaan.
